“我的看法是,直接上手euv技术,先从光源研究。”
“光源由光的产生、光的收集、光谱的纯化与均匀化三大单元组成。”
“最初光刻机,是采用汞灯产生的436nmg-line和365nmi-line作为光刻光源。后来采用248nm的krf准分
激光作为光源,将最小工艺节
提升至350-180nm
平。”
“但是,再往
其实就很难了。”
“据我了解,新技术
在一个变革的关键,事实上所谓的asml的euv机
,其实
本是个束之
阁的东西无,无法真正应用。”
“市场上,还没有一家企业购买过!”
“在公司
,
细节不清楚,但很显然有重大技术难题他们没有突破。”
“光刻机是个小市场,一年卖几十台的就算大厂了。现在半导
晶圆工厂拢共也没有多少。一台机
还能有好些年。”
“但是,投资又很
大。资本回报率很低。在国际上,除非是战略考量,并且当
一张关键外
牌来打,否则单纯为钱,是没有企业愿意
的。”
“00年的时候,杰奔尼康在这个领域中,是绝对霸主。”
“可是在今年,asml的市场占有率,已经达到七成!”
“asml
的发展思路规划,咱们并不清楚。不过,这家企业,八十年代三十几个人开始在飞利浦那边
起。”
“这么短时间,直接走上霸主地位。背后依靠的,自然就是超前一步的发展方向。”
“97年,英特尔搞了个euvllc合作组织。由优丝官方牵
、集合了
托
拉、amd、以及优丝著名的几家实验室,劳
斯利弗莫尔实验室、劳
斯伯克利实验室、桑迪亚国家实验室。”
“投资数亿元,集合数百位
尖科学家搞理论研究。”
“amsl也加
了这个项目中,给优丝发了一大堆誓言,比如亲
的爸爸,你是我永远的明灯之类的。因为,除了他们,没有其他国家光刻机企业加
。”
众人闻言,纷纷笑了起来。
优丝的霸
,大家伙心知肚明。你要是不给人家当
隶,而且是那
我累死累活,吃不饱穿不
勉
活着的
隶,否则,优丝不介意直接让你成为最后的莫西
人。
“从97到03年,项目组科学家发表了数百篇论文,验证了euv光刻机的可行
。”
“然后,asml就开始
了。06年,搞
了原型机。07年,建造了一万平米的超级无尘室。”
“接着,就连续几年宣传
现了真正的机
。不过,市场不会骗人。没有企业购买,显然技术有问题。”
“但是我想,时间已经很
了。从我的信息渠
来看,三五六年,机
可能会
晶圆工厂。”
曹嘉许皱眉说
:“老大,不会这么夸张吧。”